通过在工件表面形成超硬化合物膜层的方法,是大幅度提高其耐磨、抗咬合(抗粘结)、耐蚀等性能,从而大幅度提高其使用寿命的有效而经济的方法。目前,工件表面超硬化处理方法主要有物理气相沉积(pvd),化学气相沉积(cvd),物理化学气相沉积(pcvd),扩散法金属碳化物履层技术,其中,pvd法具有沉积温度低,工件变形小的优点,但由于膜层与基体的结合力较差,工艺绕镀性不好,往往难以发挥超硬化合物膜层的性能优势。cvd法具有膜基结合力好,工艺绕镀性好等突出优点,但对于大量的钢铁材料而言,其后续基体硬化处理比较麻烦,稍有不慎,膜层就易破坏。因此其应用主要集中在硬质合金等材料上。pcvd法沉积温度低,膜基结合力及工艺绕镀性均较pvd法有较大改进,但与扩散法相比,膜基结合力仍有较大差距,此外由于pcvd法仍为等离子体成膜,虽然绕镀性较pvd法有所改善,但无法消除。
由扩散法金属碳化物覆层技术形成的金属碳化物覆层,与基体形成冶金结合,具有pvd、pcvd无法比拟的膜基结合力,因此该技术真正能够发挥超硬膜层的性能优势,此外,该技术不存在绕镀性问题,后续基体硬化处理方便,并可多次重复处理,使该技术的适用性更为广泛。
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